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所谓真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。

在真空条件下成膜可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞，减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应（如氧化等），以及减少成膜过程中气体澳门新葡京分子进入薄膜中成为杂质的量，从而提《pinyin：tí》供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力。

通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa，对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合，则要求压力更低

如果只是就膜厚仪测试来讲的话，真空镀膜和光学镀膜的区别就是：

1、真空澳门威尼斯人镀膜：一般TiN，CrN，TiC，ZrN，电镀出来的厚度大概是3~5微米。一般情况真空镀膜的《拼音：de》厚度是在设备上测试不出来了；

2、光学镀膜的膜厚测试可以在镀膜机的中间顶上装置膜厚测试仪即可。最早澳门博彩的是光控测（繁体：測）试，现在一般用晶控（晶振片）使用的是晶振片震动的频率来测试镀膜的厚度。不同膜层的厚度不同。