请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用？化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术
请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用？
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。原理
化学气相沉积技术是应用气态物质在固（读：gù）体上阐述化学反应并产生固态《繁：態》沉积物的一{练：yī}种工艺，它大致包含三步：
（1）形成挥发性物wù 质 ；
（2幸运飞艇）把上述【读：shù】物质转移至沉积区域 ；
（3）在固体上产生化学反应并产生固态物质《繁：質》 。
最基本的化学气相沉积反应包括热分解反应、化[练：huà]学合成反应以及化学传输反应等集《pinyin：jí》中。 [1]
特点{练：diǎn}
1）在中温或高温下，通过气态的初始化合物之间的气相化学反应而形成固体物质沉积【繁体：積】在基体[繁：體]上。
2）可以在常压或者真空直播吧条件下#28负压[繁体：壓]“进行沉积、通常真空沉积膜层质量较好）。
3）采用等离子和激光guāng 辅助技术可以显著地促进化学反应，使（读：shǐ）沉积可在较[拼音：jiào]低的温度下进行。
4）涂层的化学成分可澳门伦敦人以随气相组成的改变而变化，从而获得梯度沉积物[练：wù]或者得到混合镀层。
5）可以控制涂层[céng]的密度和涂层纯度。
6）澳门金沙绕镀件好。可在《读：zài》复杂形状的基体上以及颗粒材料上镀膜。适合涂覆各种复杂形状的工件。由于它的绕镀性能好，所以可涂覆带有槽、沟、孔，甚至是盲孔的工件。
7）沉chén 积层通常具有柱状晶体结构，不耐弯曲，但可通过各种幸运飞艇技术对化学反应进行气相扰动，以改善其结构。
8）可以通过各种反应形成多种金属、合《繁：閤》金、陶瓷和化合物涂层。
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