真空镀膜电源工作原理？1、物理气相沉积技术是指在真空条件下，利用各种物理方法，将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子，直接沉积到基体表面上的方法。2、化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体，借助气相作用或基体表面上的化学反应，在基体上制出金属或化合物薄膜的方法，主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有CVD和PVD两者特点的等离子化学气相沉积等
真空镀膜电源工作原理？
1、物理气相沉积技术是指在真空条件下，利（pi澳门新葡京nyin：lì）用各种物理方法，将镀料气化成原子、分子或使其离化为离子，直接沉积到基体表面上的方法。
2、化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体，借助(pinyin：zhù)气相作用或基体表面上的化学反应，在基体上制出金属或化合物薄膜的方法，主澳门新葡京要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有CVD和PVD两者特点的等离子化学气相沉积等。
请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用？
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。原理
化学气相沉积技术是应用气态物质在固体上阐述化学反应并产生固态沉《chén》积物的一种工澳门巴黎人艺，它大致包含三步：
（1）幸运飞艇形成[读：chéng]挥发性物质 ；
（2）把上（练：shàng）述物质转移至沉积区域 ；
（3）在固体上产生化学反应并产生固态物质（繁：質） 。
最基本的化学气(繁体：氣)相沉积反应包括热分解反应、化学合成反应以[读：yǐ]及化学传输反应等集中。 [1]
特点《繁体：點》
1）在中温或高温下，通过气态的初始化合物（读：wù）之间的气相化学反应而形成固体物【拼音：wù】质沉积在基体上。
2）可以在常压或者真空条件下#28负(fù)压(繁：壓)“进（繁：進）行沉积、通常真空沉积膜层质量较好）。
3）采用等离子【拼音：zi】和激光辅助技术可以显著地促（拼音：cù）进化学反应，使沉积可在较低的温度下进行。
4）涂层的化学成分可以随气相组成{读：chéng}的改变而变化，从而获得梯度（拼音：dù）沉积物或者得到混合镀层。
5）可以控制涂层的{拼澳门巴黎人音：de}密度和涂层纯度。
6）绕镀件好。可在复杂(繁体：雜)形状的基体上以及颗粒材料上镀膜。适合涂覆各种复杂形状的工件。由【读：yóu】于它的绕镀性能好，所以可涂覆带有槽、沟、孔，甚至是盲孔[读：kǒng]的工件。
7）沉积层通常具（练：jù）有柱状晶《读：jīng》体结构，不耐弯曲，但可通过各【读：gè】种技术对化学反应进行气相扰动，以改善其结构。
8）可以通过各种反应形成多种金属、合金、陶táo 瓷和化合物涂层。
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