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2025-02-23 18:00:05Family

上海微电子光刻机在全球属于什么水平?这个问题非常好,提到光刻机,不能不说这是国人心中一个深深的痛。中芯国际(SMIC)为了发展最先进的7纳米芯片制造工艺,在2018年初,以1亿多美元向荷兰ASML订购了一台EUV紫外线光刻机

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上海微电子光刻机在全球属于什么水平?

这个问题非常好,提到光刻机,不能不说这是国人心中一个深深的痛。

中芯国际(SMIC)为了发展最先进的7纳米芯片制造工【pinyin:gōng】艺,在2018年初,以1亿多美元向荷兰ASML订购了一台EUV紫外线光刻机。然而,近两年过去了,ASML受到美国的各种施压,迟迟不向中芯国际交付[fù]这一台高端光刻机。而我们没有丝毫办法,这不能不说是店大欺客,欺人太《读:tài》甚。

上海微电子(SMEE)作为国产光刻机唯一[读:yī]的提供商,在目前本土高科技发展,尤(练:yóu)其是芯片被美国穷尽手段阻断的情况下,它的存cún 在无疑成为国内芯片制造的唯一希望。

那么上{pi澳门新葡京nyin:shàng}海微电子在光刻机领域的实力究竟如何呢?

其实这里要先说明一下光刻机的分类,从用途上区分,其主要有四大类:制造芯片的前道光刻机,封装芯片的后道光刻机,制造LED/MEMS/功率器件的光刻机,以及制造TFT液晶屏的光刻机。

而上海微电子对这四种光刻机都有涉足,尤其是封装芯片的后澳门伦敦人道光刻机,其在国内具有80%的市场占有率,在国际上也有近40%的占有率,每年都(dōu)有近60台的出货量。

其客{拼音:kè}户都是世界前十大封测工厂,比如国内的长电科技JCET,通富微TF,以及台湾的日月光半(读:bàn)导体,这是{shì}非常了不起的成就。

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上海微电子的研发实力也不容小觑(繁体:覷),在光刻机领域的专利申请量有近3000项。在国内半导体设备厂{pinyin:chǎng}商的综合排名中,位居前五名。

但是在半导体制造中,最核心的其实属于前道光刻机,其在半导体制造成本běn 里占30%之多,中芯国幸运飞艇际向ASML购买的EUV极紫外线光刻机就属于前道光刻机,可用于生产7纳米工艺的芯片。

而上海微电子(练:zi)目前可以提供的最先进前道光刻机,只能用于生产280纳米,110纳米和hé 90纳{繁:納}米工艺的芯片。从这方面讲,上海微电子与世界前三大光刻机生产商ASML,佳能Cannon和尼康Nikon的差距,是非常巨大的。

除了{pinyin:le}上海hǎi 微电子之外,中科院和华中科技大学都有对光刻机的研发,但这都停{拼音:tíng}留在实验室的阶段,很难进入商用。

比如中科院号称开发出的“22纳米光刻机”,采用表面等离子技术澳门威尼斯人,不同于EUV极紫外光技术,具有很大的缺陷,无[繁体:無]法生产CPU和显卡GPU等电路非常复杂的芯片,这决定了,其无法进入商用领域。

华中科技大学国家光电中心甘棕松(拼音:sōng)团队,利用双光束超衍射的技术,开发出的光刻机,目前仅能用于微纳器件的三维制造极速赛车/北京赛车,距离进行集成电路芯片制造,还有很多技术需要攻克,更别提进行成熟的商用芯片制造。

由此我们可以看出,媒体上很多宣称打破国际封锁,开发出的几纳米光{guāng}刻机,基本上距离商用都很遥远,有的甚[shén]至基于不同目的还偷换概念。

这从另一个侧面说明,上(读:shàng)海微电子在国内光刻机领域,是唯一[yī]有希望{wàng}进行更高端光刻机研发的企业,因此它的地位是无法替代的。

值得一提的是,从相关渠道了解到,上海微电子(练:zi)正在02专项的支持下,进行28纳米前道光刻机的研发,已经取得了《繁:瞭》很大的进展。从90纳米跨越到28纳米,如果能实现,也是一个了不起的进步,期待【pinyin:dài】上海微电子的28纳米光刻机!

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