请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用？化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术
请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用？
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。原理[练：lǐ]
化学气相沉积技术是应用气态物质在固体上阐述化学（繁体：學）反应并产生固态沉积物的一【yī】种工艺，它大致包含三步：
幸运飞艇（1）形成挥发性物（wù）质 ；
（2）把上【读：shàng】述物质转移至沉积区域 ；
（3）在固体上产生化学反应并《繁体：並》产生固态物质 。
最基本的化学气相沉积反应包括热分解反应{pinyin：yīng}娱乐城、化学合成反应以及化学传输反应等集中。 [1]
特点
1）在中温或高温下，通过气态的初始化合物之间的气相化学反应而形成固{gù}体物质沉积[繁：積]在基（pinyin：jī）体上。
2）澳门新葡京可(pinyin：kě)以在常压或者真空条件下#28负压“进行沉积、通常真空沉积膜层质量较好）。
3）采用等离子和激光辅助技术可以显著地促进[繁：進]化学反应，使沉【练：chén】积可{kě}在较低的温度下进行。
4）涂层的化学《繁体：學》成分可以随气相组成的改变而变化，从而获得梯度沉积物或者得到混合镀层[繁体：層]。
5）可以控制涂层的密度和涂娱乐城《繁体：塗》层纯度。
6）澳门新葡京绕镀件好。可在复杂（繁体：雜）形状的基体上以及颗粒材料上镀膜。适合涂覆各种复杂形状的工件。由于它的绕镀性能好，所以可涂覆带有槽、沟、孔，甚至是盲孔的工件。
7）沉（读：chén）积层通常具有柱状晶体结构，不耐弯曲，但可通过【guò】各种技术对化学反应进行气相扰动，以改善其结构。
8）可以通过各种反应形《拼音：xíng》成多种金属、合金、陶瓷和化合物涂层。
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