什么是MEMS传感器？什么是MEMS传感器？在微电子技术高速发展的浪潮中，MENS传感器的应用也广泛起来。例如气体成分检测、3D定位技术、特殊环境的参数监测等应用。MEMS是微型电子机械系统，MEMS传感器采用微机械加工技术制造的新型传感器，属于MEMS器件的重要分支
什么是MEMS传感器？
什么是MEMS传感器？在微电子技术《繁体：術》高速发展的浪潮《拼音：cháo》中，MENS传感器的应用也{pinyin：yě}广泛起来。例如气体成分检测、3D定位技术、特殊环境的参数监测等应用。
MEMS是微型电子机械系统，MEMS传感器采用微澳门金沙机械加工技术制《繁体：製》造的新型传感器，属于MEMS器件的重要分支。
依赖MEMS技术(shù)传感器的技术特点
1、微型化 ，其芯片尺寸基本为纳米与微米级别(繁：彆)。
2直播吧、多样化，主要在其工【读：gōng】艺、应用领域及材料方面多样化。
3、集成化，在功能、敏感方向不同的多个传感器{练：qì}集成形成阵列与系统。
4、批量化，适娱乐城合大批量生{shēng}产，成本不高。
5、尺寸相应现澳门巴黎人象，由于尺寸缩小也会有些影响，如尺《chǐ》寸效应、微摩擦学、微构造学、微热力学等。
一些典型[拼音：xíng]的MEMS传感器
1、MEMS压力(pinyin：lì)传感器。其发展迅速，应{pinyin：yīng}用广泛。基本上《拼音：shàng》它的敏感元件为硅膜片，根据机理不同可将MEMS压力传感器分为三种形式，分别是压阻式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器。
2、MEMS加速度传感器。根据原理可分压阻式、压电式、电容式、热电偶式、光波导式等MEMS加速度传感器，可应用最为广泛的还属于电容式加速度传感器。
3、MEMS陀螺仪。利用科里奥效应测量运动物体的角速度，根据科里奥效应，在三维直角坐标中，物体沿X轴正方向运动且施加角旋转速率物体就会收到Y轴负方向的力，最后可根据电澳门博彩容感应结构可测量出科里奥效应产生的物理位移。其有微型化、高性能、易于制造等优点，广泛应用于[繁：於]医疗仪器、消费电子等领域。
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